MEP · UPW / GAS / POWER ▼ B1 −7.20 ／ RF +41.80

超純水・特殊ガス・機電設備

プロセスの血液と呼吸——超純水、ガス、電力、空調を、B1 サブファブから RF 屋上機械階まで一貫して計画・施工管理します。

サブファブのユーティリティ通路：ステンレス配管ラック、ポンプ、配電設備 — ▼ B1 −7.20 サブファブ

SCOPE · 業務範囲

私たちが担う領域

S-01

UPW 超純水システム

18.2 MΩ·cm の水質設計。前処理、RO、EDI、ポリッシングループのシステム計画と施工管理を行います。

S-02

PCW プロセス冷却水

プロセス冷却水系統の熱回収と水力バランス設計により、装置端の温度と流量を安定させます。

S-03

バルクガスシステム

N2、O2、Ar、H2 の供給計画とオンサイト窒素製造の評価。貯槽、気化器、精製設備を含みます。

S-04

特殊ガス供給

ガスキャビネット、VMB／VMP の配置、二重配管の敷設と漏洩検知システムの設計・施工監理。

S-05

CCSS 薬液供給

中央薬液供給システム：ローリーからの受入、希釈・調合、末端分配の計画と検収。

S-06

電力システム

高低圧の受変電・配電、UPS、非常用発電、電力品質改善の設計統合と発注管理。

S-07

空調・排気

MAU／AHU 空調システムと、酸・アルカリ、有機、高温排気の系統分離に応じた風路・負荷設計。

S-08

消防・安全

クリーンルーム対応の消防設備、ガス消火システム、ユーティリティ安全インターロックの計画と審査。

SUB-FAB · サブファブ

サブファブは、工場全体のエンジンルームです。

B1 の配管通路は UPW、特殊ガス、薬液、電力幹線を担い、上階クリーンルーム装置の接続点と一つずつ位置決めします—— ずれれば、後工程で高額な配管改修になります。TeraFab は設計段階から BIM で各システムのルートを統合し、ポンプ、精製器、バルブボックスの保守空間を確保。将来の点検でラインを止める必要がありません。