OHT ウェーハ搬送システム（AMHS）
AMHS は生産能力のメトロノームです——TeraFab はベンダー中立のコンサルタントとして、レールネットワーク計画、 搬送シミュレーションとシステム統合を担い、すべての FOUP を定刻どおりに届けます。
TeraFab は搬送設備を製造しません。私たちは事業主の計画統合コンサルタントです：仕様を策定し、Daifuku／Muratec などのシステムベンダーを評価選定し、レールと建築・機電のインターフェースを管理し、検収を主導します。中立だからこそ、すべての判断は生産能力と歩留まりのためだけにあります。
SCOPE · 業務範囲
私たちが担うこと
S-01
AMHS マスタープラン
工場の生産能力と装置レイアウトに基づき搬送アーキテクチャを定め、工場全体の自動搬送ブループリントを描きます。
S-02
レールネットワーク設計
Interbay メインループと Intrabay 支線ループの計画。分岐・合流・ショートカットの配置を含みます。
S-03
搬送シミュレーション解析
10,000 WPM 級の生産タクトを対象とした離散事象シミュレーションで、ボトルネック区間と渋滞ホットスポットを特定します。
S-04
バッファシステム計画
ストッカー容量の配分、STB サイドバッファ棚の配置、N2 パージ保管環境の計画。
S-05
装置インターフェース統合
ロードポート位置決めとティーチング作業の調整、OHT 搬出入クリアランスと干渉検討。
S-06
MCS／MES 連携
搬送指令の配車、優先度管理、FOUP トラッキングに関するシステム連携仕様と試験。
S-07
構造・機電インターフェース
レール荷重とハンガーシステムの検討、天井グリッド・スプリンクラーヘッド・配管クリアランスの調整。
S-08
検収と立ち上げ
シミュレーション検証、実機走行試験、搬送性能の検収を行い、量産ランプアップ期の調整を支援します。
SIMULATION · シミュレーション
まずシミュレーション、それからレール敷設。
レールを天井に敷いた後の変更は、生産停止という代償を伴います。TeraFab は設計段階で離散事象シミュレーションによりネットワーク容量を検証します： 搬送車の台数、分岐の配置、ストッカーの配置を仮想工場上で完全な生産タクトに通し、 ピーク時の車両流動が滞らず、FOUP の納期が達成できることを確認してからレールネットワーク設計を凍結します——立ち上げ後にボトルネックを発見するのではなく。
図名 TITLEOHT 搬送トラッキング
システム SYSTEM OHT
レベル LEVEL1F 天井レール
タイムコード TC00:00 / 00:09
METHOD · 実行方法
ターンキーコンサルタントの進め方
01
要求と仕様の策定
生産能力目標と装置レイアウトを棚卸しし、搬送要求と AMHS システム仕様書（URS）を策定します。
02
シミュレーションとネットワーク設計
離散事象シミュレーションでネットワーク容量と車両流動を検証し、Interbay／Intrabay 設計を凍結します。
03
ベンダー評価選定と発注
中立の立場で Daifuku／Muratec などのシステムベンダーを評価選定し、技術確認と契約交渉を主導します。
04
インターフェース統合と検収
レールと構造・機電・MCS のインターフェースを管理し、実機走行試験と搬送性能の検収を主導します。
10,000WPM
搬送シミュレーション能力レベル
全ネットワーク
Interbay＋Intrabay 一体計画
ベンダー中立
コンサルタントの立場で仕様と検収を管理
FOUP直行率
レールネットワーク最適化の目標
＊指標は計画設計能力の目安です（FAB-1 事例の図説を基準）。実際の仕様はプロジェクト要件に応じて決定します。
INTERFACE · 関連システム
OHT は孤島ではない
OHT はクリーンルームの天井に懸架され、荷重は構造へ返り、監視はファシリティシステムへ接続されます——これらのインターフェースこそ、ターンキーコンサルタントの価値です。