OHT 天車晶圓搬送系統
AMHS 是產能的節拍器——TeraFab 以廠商中立的顧問身分,做軌道路網規劃、 搬送模擬與系統整合,讓每一個 FOUP 準時抵達。
TeraFab 不製造搬送設備。我們是業主的規劃整合顧問:制定規格、評選 Daifuku/Muratec 等系統廠商、管理軌道與建築機電的介面,並主持驗收。中立,所以每個決定只為產能與良率服務。
SCOPE · 服務範疇
我們負責的事
AMHS 總體規劃
依廠區產能與機台佈局訂定搬送架構,擘劃全廠自動化物料搬送藍圖。
軌道路網設計
Interbay 主迴圈與 Intrabay 支線迴圈規劃,含岔軌、匯流與短捷徑配置。
搬送模擬分析
10,000 WPM 級產能節拍之離散事件模擬,找出瓶頸路段與壅塞熱點。
緩衝系統規劃
Stocker 容量配置、STB 側掛緩衝儲位佈點與 N2 Purge 保存環境規劃。
機台介面整合
Load Port 對位與教導作業協調,OHT 取放淨空與碰撞干涉檢討。
MCS/MES 介接
搬送指令派工、優先權管理與 FOUP 追蹤之系統介接規格與測試。
結構與機電介面
軌道荷重與吊架系統檢討,協調天花板格網、灑水頭與管線淨空。
驗收與上線
模擬驗證、實車測試與搬送績效驗收,支援量產爬坡期調適。
SIMULATION · 模擬
先模擬,再鋪軌。
軌道一旦鋪上天花板,改動的代價是停產。TeraFab 在設計階段即以離散事件模擬驗證路網容量: 載具數量、岔軌配置、Stocker 佈點在虛擬廠房中先跑過完整產能節拍, 確認尖峰車流不壅塞、FOUP 交期可達成,才凍結路網設計——而不是上線後才發現瓶頸。
METHOD · 執行方式
統包顧問怎麼做
需求與規格制定
盤點產能目標與機台佈局,制定搬送需求與 AMHS 系統規格書(URS)。
模擬與路網設計
以離散事件模擬驗證路網容量與車流,凍結 Interbay/Intrabay 設計。
廠商評選與發包
以中立立場評選 Daifuku/Muratec 等系統廠商,主持技術澄清與議約。
介面整合與驗收
管理軌道與結構、機電、MCS 的介面,主持實車測試與搬送績效驗收。
10,000WPM
搬送模擬產能等級
全路網
Interbay+Intrabay 一體規劃
廠商中立
顧問立場、規格與驗收把關
FOUP直達率
路網優化目標
*指標為規劃設計能力示意(以 FAB-1 案例圖說為基準),實際規格依專案需求訂定。
INTERFACE · 相關系統
天車不是孤島
OHT 懸掛在潔淨室天花板、荷重回饋到結構、監控接入廠務系統——這些介面,正是統包顧問的價值所在。
