純水・特殊氣體・機電工程
製程的血液與呼吸——超純水、氣體、電力與空調,從 B1 次設備層到 RF 屋頂機械層的完整規劃與施工管理。
SCOPE · 服務範疇
我們負責的事
UPW 超純水系統
18.2 MΩ·cm 水質設計,前處理、RO、EDI 與拋光迴路之系統規劃與施工管理。
PCW 製程冷卻水
製程冷卻水迴路之熱回收與水力平衡設計,確保機台端溫度與流量穩定。
大宗氣體系統
N2、O2、Ar、H2 供應規劃與現場製氮評估,含儲槽、汽化與純化設施。
特殊氣體供應
Gas Cabinet、VMB/VMP 配置,雙套管敷設與偵漏系統之設計與監造。
CCSS 化學品供應
中央化學品供應系統:槽車卸收、稀釋混配與端點分配之規劃與驗收。
電力系統
高低壓配電、UPS、緊急發電與電力品質改善之設計整合與發包管理。
空調與排氣
MAU/AHU 空調系統與酸鹼、有機、熱排氣分流之風路與負荷設計。
消防與安全
潔淨室適用消防、氣體滅火系統與公用系統安全聯鎖之規劃與審查。
SUB-FAB · 次設備層
次設備層,是整座廠的引擎室。
B1 管線走廊承載 UPW、特氣、化學品與電力幹線,與上方潔淨室機台的上下埠逐一對位—— 對位偏了,就是後期昂貴的改管。TeraFab 在設計階段即以 BIM 整合各系統路由, 並保留泵浦、純化器與閥箱的維運空間,讓日後檢修不必停線。
METHOD · 執行方式
統包顧問怎麼做
需求定義
盤點機台公用需求(水、氣、電、排氣負荷),訂定設計基準與容量餘裕。
設計整合
以 BIM 協同管線走廊路由與上下埠對位,完成各系統基本與細部設計。
發包與施工管理
UPW、特氣、配電等分包之規格書、廠商評選與全程監造。
測試認證移交
管路沖洗鈍化、水質與氣體純度驗證、TAB 調適與竣工文件移交。
18.2MΩ·cm
UPW 電阻率設計標準
<1ppb
TOC 控制目標
N+1
供電與公用備援架構
7×24
不斷線供應設計
*指標為規劃設計能力示意(以 FAB-1 案例圖說為基準),實際規格依專案需求訂定。
INTERFACE · 相關系統
公用系統不是孤島
上游接外部供應,下游接潔淨室與環保處理——這些介面,正是統包顧問的價值所在。
