MEP · UPW / GAS / POWER ▼ B1 −7.20 / RF +41.80

純水・特殊氣體・機電工程

製程的血液與呼吸——超純水、氣體、電力與空調,從 B1 次設備層到 RF 屋頂機械層的完整規劃與施工管理。

次設備層公用系統走廊:不鏽鋼管架、泵浦與配電設備
▼ B1 −7.20 次設備層

SCOPE · 服務範疇

我們負責的事

S-01

UPW 超純水系統

18.2 MΩ·cm 水質設計,前處理、RO、EDI 與拋光迴路之系統規劃與施工管理。

S-02

PCW 製程冷卻水

製程冷卻水迴路之熱回收與水力平衡設計,確保機台端溫度與流量穩定。

S-03

大宗氣體系統

N2、O2、Ar、H2 供應規劃與現場製氮評估,含儲槽、汽化與純化設施。

S-04

特殊氣體供應

Gas Cabinet、VMB/VMP 配置,雙套管敷設與偵漏系統之設計與監造。

S-05

CCSS 化學品供應

中央化學品供應系統:槽車卸收、稀釋混配與端點分配之規劃與驗收。

S-06

電力系統

高低壓配電、UPS、緊急發電與電力品質改善之設計整合與發包管理。

S-07

空調與排氣

MAU/AHU 空調系統與酸鹼、有機、熱排氣分流之風路與負荷設計。

S-08

消防與安全

潔淨室適用消防、氣體滅火系統與公用系統安全聯鎖之規劃與審查。

SUB-FAB · 次設備層

次設備層,是整座廠的引擎室。

B1 管線走廊承載 UPW、特氣、化學品與電力幹線,與上方潔淨室機台的上下埠逐一對位—— 對位偏了,就是後期昂貴的改管。TeraFab 在設計階段即以 BIM 整合各系統路由, 並保留泵浦、純化器與閥箱的維運空間,讓日後檢修不必停線。

超純水處理室:RO 膜管與拋光不鏽鋼管線
UPW 超純水系統
特殊氣體櫃室:氣瓶櫃、監控面板與管線歧管
特氣供應 Gas Cabinet

METHOD · 執行方式

統包顧問怎麼做

01

需求定義

盤點機台公用需求(水、氣、電、排氣負荷),訂定設計基準與容量餘裕。

02

設計整合

以 BIM 協同管線走廊路由與上下埠對位,完成各系統基本與細部設計。

03

發包與施工管理

UPW、特氣、配電等分包之規格書、廠商評選與全程監造。

04

測試認證移交

管路沖洗鈍化、水質與氣體純度驗證、TAB 調適與竣工文件移交。

18.2MΩ·cm

UPW 電阻率設計標準

<1ppb

TOC 控制目標

N+1

供電與公用備援架構

7×24

不斷線供應設計

*指標為規劃設計能力示意(以 FAB-1 案例圖說為基準),實際規格依專案需求訂定。

INTERFACE · 相關系統

公用系統不是孤島

上游接外部供應,下游接潔淨室與環保處理——這些介面,正是統包顧問的價值所在。

想評估公用系統容量或規劃擴建?

從 UPW 到供電備援,讓 TeraFab 以統包顧問身分為您盤點現況容量、規劃擴充路徑。

洽詢專案